InSb晶片与Si晶片键合的方法 | |
彭红玲; 郑婉华 | |
Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
Date Available | 2013-07-10 |
Country | 中国 |
Subtype | 发明 |
Subject Area | 光电子学 |
Application Date | 2013-03-29 |
Application Number | CN201310109012.3 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25609 |
Collection | 光电子研究发展中心 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 彭红玲,郑婉华. InSb晶片与Si晶片键合的方法. |
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InSb晶片与Si晶片键合的方法.pdf(375KB) | 限制开放 | License | Application Full Text |
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