SEMI OpenIR  > 半导体集成技术工程研究中心
一种微机械谐振器及其制作方法
杨晋玲; 赵晖; 骆伟; 袁泉; 杨富华
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2013-09-04
授权国家中国
专利类型发明
学科领域微电子学
申请日期2013-06-14
申请号CN201310235167.1
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25579
专题半导体集成技术工程研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
杨晋玲,赵晖,骆伟,等. 一种微机械谐振器及其制作方法.
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一种微机械谐振器及其制作方法.pdf(1696KB) 限制开放使用许可请求全文
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