SEMI OpenIR  > 光电子器件国家工程中心
确定光斑位置的夹具
井红旗; 李全宁; 吴霞; 王翠鸾; 董为; 马骁宇
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2014-03-19
授权国家中国
专利类型发明
学科领域半导体器件
申请日期2013-12-18
申请号CN201310698513.X
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25462
专题光电子器件国家工程中心
推荐引用方式
GB/T 7714
井红旗,李全宁,吴霞,等. 确定光斑位置的夹具.
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