SEMI OpenIR  > 半导体集成技术工程研究中心
通用的多种材料间全限制纳米线的自对准制备方法
付英春; 王晓峰; 张加勇; 白云霞; 梁秀琴; 马慧莉; 季安; 杨富华
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2012-07-25
授权国家中国
专利类型发明
学科领域微电子学
申请日期2012-03-22
申请号CN201210077661.5
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25377
专题半导体集成技术工程研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
付英春,王晓峰,张加勇,等. 通用的多种材料间全限制纳米线的自对准制备方法.
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