SEMI OpenIR  > 半导体集成技术工程研究中心
一种快速射频微机械开关
朱银芳; 魏伟伟; 毛旭; 杨晋玲; 杨富华
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2012-08-01
授权国家中国
专利类型发明
学科领域微电子学
申请日期2012-04-11
申请号CN201210105187.2
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25303
专题半导体集成技术工程研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
朱银芳,魏伟伟,毛旭,等. 一种快速射频微机械开关.
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