硅基取样光栅多波长混合激光器阵列的制备方法
袁丽君; 于红艳; 周旭亮; 王火雷; 潘教青
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2013-03-06 ; 2013-03-06
授权国家中国
专利类型发明
学科领域半导体材料
申请日期2012-11-05
申请号CN201210436127.9
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25193
专题中科院半导体材料科学重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
袁丽君,于红艳,周旭亮,等. 硅基取样光栅多波长混合激光器阵列的制备方法.
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