SEMI OpenIR  > 半导体集成技术工程研究中心
微纳机电谐振式悬臂梁生化传感器的研究
王帅鹏
学位类型博士
导师杨晋玲
2014-05-30
学位授予单位中国科学院研究生院
学位授予地点北京
学位专业微电子学与固体电子学
学科领域半导体器件
公开日期2014-06-04
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25114
专题半导体集成技术工程研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
王帅鹏. 微纳机电谐振式悬臂梁生化传感器的研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2014.
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