半绝缘 InP 单晶衬底表面缺陷与杂质
刘京明
学位类型硕士
导师赵有文
2013
学位授予单位中国科学院研究生院
学位授予地点北京
学位专业材料工程
学科领域半导体材料
语种中文
公开日期2013-06-24
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/24255
专题中科院半导体材料科学重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
刘京明. 半绝缘 InP 单晶衬底表面缺陷与杂质[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2013.
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