SEMI OpenIR  > 半导体集成技术工程研究中心
微机电系统(MEMS)器件低温封装方法研究
方志强
学位类型硕士
导师杨晋玲 ; 毛旭
2013
学位授予单位中国科学院研究生院
学位授予地点北京
学位专业微电子学与固体电子学
学科领域微电子学
语种中文
公开日期2013-06-24
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/24244
专题半导体集成技术工程研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
方志强. 微机电系统(MEMS)器件低温封装方法研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2013.
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