| 高反射率高带宽的亚波长光栅反射镜的制作方法; 高反射率高带宽的亚波长光栅反射镜的制作方法 | |
| 刘安金; 陈微; 周文君; 付非亚; 王宇飞; 郑婉华 | |
| 专利权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 公开日期 | 2012-09-09 ; 2012-09-09 ; 2012-09-09 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 摘要 | 本发明提供一种高反射率高带宽的亚波长光栅反射镜的制作方法,包括如下步骤：步骤1：取一衬底；步骤2：在该衬底上依次生长材料层、介质层和金属层,在介质层和金属层界面处能够激发表面等离子体模式；步骤3：采用感应耦合等离子体刻蚀的方法或者剥离技术,依次将金属层、介质层和材料层刻蚀,形成周期性的条形光栅结构,完成器件的制作。 |
| 部门归属 | 纳米光电子实验室 |
| 专利号 | CN102109625A |
| 语种 | 中文 |
| 专利状态 | 公开 |
| 申请号 | CN201110049965.6 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23466 |
| 专题 | 纳米光电子实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘安金,陈微,周文君,等. 高反射率高带宽的亚波长光栅反射镜的制作方法, 高反射率高带宽的亚波长光栅反射镜的制作方法. CN102109625A. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 高反射率高带宽的亚波长光栅反射镜的制作方（292KB） | 限制开放 | 使用许可 | 请求全文 | |||
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