| 一种将柔性薄膜材料粘附在玻璃基底上的方法; 一种将柔性薄膜材料粘附在玻璃基底上的方法 |
| 付英春; 王晓峰; 王晓东; 杨富华
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| 专利权人 | 中国科学院半导体研究所
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| 公开日期 | 2012-09-07
; 2012-06-13
; 2012-09-07
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 发明
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| 摘要 | 本发明公开了一种将柔性薄膜材料粘附在玻璃基底上的方法,该方法包括：步骤1：清洗玻璃基底和柔性薄膜材料；步骤2：在该玻璃基底上滴加SU8光刻胶；步骤3：将该柔性薄膜材料的一侧接触该SU8光刻胶,并将该柔性薄膜材料从一侧到另外一侧赶平；步骤4：用一个平整面挤压该柔性薄膜材料,赶出多余的SU8光刻胶,并用丙酮擦除多余的SU8光刻胶；步骤5：用紫外光从玻璃基底背面曝光；步骤6：清洗并烘干。利用本发明,解决了在柔性薄膜材料表面进行微电子工艺加工的过程中,操作基底的平整度问题。 |
| 部门归属 | 半导体集成技术工程研究中心
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| 申请日期 | 2011-11-30
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| 专利号 | CN102496562A
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| 语种 | 中文
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| 专利状态 | 公开
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| 申请号 | CN201110389683.0
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23341
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| 专题 | 半导体集成技术工程研究中心
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
付英春,王晓峰,王晓东,等. 一种将柔性薄膜材料粘附在玻璃基底上的方法, 一种将柔性薄膜材料粘附在玻璃基底上的方法. CN102496562A.
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