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不同醇类对单晶硅绒面特性的影响
屈盛; 张兴旺; 毛和璜; 余银祥; 韩增华; 汤叶华; 周春兰; 王文静
2011
Source Publication材料导报
Volume25Issue:1BPages:41194
Abstract在单晶硅太阳电池的绒面制作过程中分别采用一元醇(乙醇、异丙醇)和二元醇(乙二醇、丙二醇)作为添加剂,比较它们对单晶硅绒面特性的影响。实验表明,一元醇可以降低化学反应速率,而二元醇可以加快反应速率,缩短制绒时间。二元醇相比一元醇具有更高的沸点,在制绒过程中挥发更少,可以减少药品的损耗,降低成本,然而二元醇的消泡效果比一元醇差,制绒时需要采用更大的初始浓度。扫描电子显微镜(SEM)结果表明,一元醇趋向于使绒面金字塔更均匀,而二元醇则容易导致绒面金字塔不均匀。反射谱的测试结果表明,采用二元醇作为添加剂进行制绒,相比一元醇,可以获得更低的硅片表面反射率。
metadata_83中科院半导体材料科学重点实验室
Subject Area半导体材料
Funding Organization江苏省科技基础设施建设计划项目,江苏省自然科学基金项目
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:4236215
Date Available2012-07-17
Citation statistics
Cited Times:2[CSCD]   [CSCD Record]
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23297
Collection中科院半导体材料科学重点实验室
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GB/T 7714
屈盛,张兴旺,毛和璜,等. 不同醇类对单晶硅绒面特性的影响[J]. 材料导报,2011,25(1B):41194.
APA 屈盛.,张兴旺.,毛和璜.,余银祥.,韩增华.,...&王文静.(2011).不同醇类对单晶硅绒面特性的影响.材料导报,25(1B),41194.
MLA 屈盛,et al."不同醇类对单晶硅绒面特性的影响".材料导报 25.1B(2011):41194.
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