SEMI OpenIR  > 集成光电子学国家重点实验室
基于绝缘硅的微环谐振可调谐滤波器
李帅; 吴远大; 尹小杰; 安俊明; 李建光; 王红杰; 胡雄伟
2011
Source Publication光子学报
Volume40Issue:8Pages:1143-1148
Abstract采用电子束光刻和感应耦合等离子刻蚀等工艺,研制了一种基于绝缘硅材料的的微环谐振可调谐滤波器.滤波器微环半径为5μm左右,波导截面尺为(350~500nm)×220nm不等.测试结果表明,波导宽度为450nm时器件性能最为理想,其自由频谱宽度为16.8nm,1.55μm波长附近的消光比为22.1dB.通过对微环滤波器进行热光调制,在21.4℃~60℃温度范围内实现了4.8nm波长范围的可调谐滤波特性,热光调谐效率达到0.12nm/℃.研究了基于单环和双环的多通道上下载滤波器,实验结果表明多通道滤波器的信号传输存在串扰,主要是不同信道之间的串扰,尤其在信号上载时,会在相邻信道产生较大串扰.
metadata_83集成光电子学国家重点实验室
Subject Area光电子学
Funding Organization国家高技术研究发展计划,国家重点基础研究民展计划
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:4308916
Date Available2012-07-17
Citation statistics
Cited Times:8[CSCD]   [CSCD Record]
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23276
Collection集成光电子学国家重点实验室
Recommended Citation
GB/T 7714
李帅,吴远大,尹小杰,等. 基于绝缘硅的微环谐振可调谐滤波器[J]. 光子学报,2011,40(8):1143-1148.
APA 李帅.,吴远大.,尹小杰.,安俊明.,李建光.,...&胡雄伟.(2011).基于绝缘硅的微环谐振可调谐滤波器.光子学报,40(8),1143-1148.
MLA 李帅,et al."基于绝缘硅的微环谐振可调谐滤波器".光子学报 40.8(2011):1143-1148.
Files in This Item:
File Name/Size DocType Version Access License
2012183.pdf(383KB) 限制开放LicenseApplication Full Text
Related Services
Recommend this item
Bookmark
Usage statistics
Export to Endnote
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[李帅]'s Articles
[吴远大]'s Articles
[尹小杰]'s Articles
Baidu academic
Similar articles in Baidu academic
[李帅]'s Articles
[吴远大]'s Articles
[尹小杰]'s Articles
Bing Scholar
Similar articles in Bing Scholar
[李帅]'s Articles
[吴远大]'s Articles
[尹小杰]'s Articles
Terms of Use
No data!
Social Bookmark/Share
All comments (0)
No comment.
 

Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.