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适用于激光共聚焦测量装置的光学窗口片
杨晋玲; 周美强; 周 威; 唐龙娟; 朱银芳; 杨富华
Rights Holder中国科学院半导体研究所
Date Available2011-08-31
Country中国
Subtype实用新型
Abstract本实用新型公开了一种适用于激光共聚焦测量装置的光学窗口片,该光学窗口片包括:光学玻片(101);蒸镀在光学玻片(101)正面的正面增透膜(102);以及蒸镀在光学玻片(101)背面的背面增透膜(103)。该光学窗口片使用高强度、低折射率的材料制成,双面平行且双面镀增透膜,减小了激光共聚焦测量装置的测量光束透过光学窗口片进行位移测量时的系统误差,可以满足对密闭环境腔室内的样品进行非接触式光学测量的需求。
metadata_83半导体集成技术工程研究中心
Patent NumberCN200920106986.5
Language中文
Status公开
Application NumberCN200920106986.5
Patent Agent周国城
Document Type专利
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22395
Collection半导体集成技术工程研究中心
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GB/T 7714
杨晋玲,周美强,周 威,等. 适用于激光共聚焦测量装置的光学窗口片. CN200920106986.5.
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