| 基于差分方法的MEMS器件信号检测电路; 基于差分方法的MEMS器件信号检测电路 |
| 韩国威; 宁瑾; 孙国胜; 赵永梅; 杨富华
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| 专利权人 | 中国科学院半导体研究所
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| 公开日期 | 2011-08-31
; 2011-08-31
; 2011-08-31
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 发明
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| 摘要 | 一种基于差分方法的MEMS器件信号检测电路，包括：一信号源；一跟随器，该跟随器的输入端与信号源的输出端连接，以跟随信号源的变化；一第一器件夹具，该第一器件夹具的一端与跟随器的输出端连接，以提供一路与信号源同相的激励信号；一反相器，该反相器的输入端与信号源的输出端连接，以将信号源的输出信号反相；一第二器件夹具，该第二器件夹具的一端与反相器的输出端连接，以提供一路与信号源反相的激励信号；一跨阻放大器，该跨阻放大器的输入端与第一器件夹具及第二器件夹具的另一端连接，以将第一器件夹具与第二器件夹具的电流之和转化为电压。 |
| 部门归属 | 半导体集成技术工程研究中心
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| 专利号 | CN201010564525.X
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| 语种 | 中文
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| 专利状态 | 公开
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| 申请号 | CN201010564525.X
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| 专利代理人 | 汤保平
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22339
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| 专题 | 半导体集成技术工程研究中心
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
韩国威,宁瑾,孙国胜,等. 基于差分方法的MEMS器件信号检测电路, 基于差分方法的MEMS器件信号检测电路. CN201010564525.X.
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