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金属催化脱氢提高镁掺杂氮化物激活效率的方法
魏同波; 王军喜; 路红喜; 刘乃鑫; 曾一平; 李晋闽
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2011-08-31
授权国家中国
专利类型发明
摘要本发明提供一种金属催化脱氢提高镁掺杂氮化物激活效率的方法,包括如下步骤:步骤1:用溅射或者蒸发的方法在p型氮化物样品表面沉积一层金属薄层;步骤2:对沉积金属薄层的p型氮化物进行退火;步骤3:用酸溶液去除p型氮化物样品表面的金属薄层;步骤4:用去离子水对去除了金属薄层的p型氮化物样品表面清洗干净。
部门归属中科院半导体照明研发中心
专利号CN201010514077.2
语种中文
专利状态公开
申请号CN201010514077.2
专利代理人汤保平
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22125
专题中科院半导体照明研发中心
推荐引用方式
GB/T 7714
魏同波,王军喜,路红喜,等. 金属催化脱氢提高镁掺杂氮化物激活效率的方法. CN201010514077.2.
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