SEMI OpenIR  > 集成光电子学国家重点实验室
一种光子晶体微腔激光器
张家顺; 王玥; 吴远大; 安俊明; 王红杰; 李建光; 胡雄伟
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2011-08-30
授权国家中国
专利类型发明
摘要本发明公开了一种光子晶体微腔激光器,包括一光子晶体微腔和一输出波导,所述光子晶体微腔是在SOI衬底顶层硅上完整的二维平板三角晶格空气孔型光子晶体中间去掉若干个空气孔而形成的,是边长为4个晶格常数的正六边形H4型微腔,与该光子晶体微腔相邻的三层空气孔由内至外分别为最邻近空气孔、次邻近空气孔及第三邻近空气孔,在该光子晶体微腔中注入稀土离子和非金属离子,形成有源区;所述输出波导是从所述光子晶体微腔的某个端点处开始沿光子晶体Γ-K方向去掉一排空气孔而形成的单线缺陷。这种结构具有较大的微腔体积,能够提高微腔的Q值,减少微腔的模式数量,提高微腔对有源介质发光的增强效果。
部门归属集成光电子学国家重点实验室
专利号CN201010556376.2
语种中文
专利状态公开
申请号CN201010556376.2
专利代理人周国城
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/21883
专题集成光电子学国家重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
张家顺,王玥,吴远大,等. 一种光子晶体微腔激光器. CN201010556376.2.
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