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双面键合长波长垂直腔面发射激光器的制备与分析
何国荣; 渠红伟; 郑婉华; 陈良惠
2010
Source Publication红外与激光工程
Volume39Issue:4Pages:618-622
Abstract研制了双面键合长波长垂直腔面发射激光器(VCSEL),有效克服了传统外延生长方法存在的诸多难题.通过对布拉格反射镜,有源区和光学腔的设计,结合键合技术进行工艺设计,于国内首次研制出双面键合长波长VCSEL,并分别采用光泵浦和电泵浦对其进行了测试与分析.测试结果表明结构及工艺设计是合理的,两次键合后的界面可以承受腐蚀,剥离,氧化等后工艺,且键合界面光,电性能良好,未对激光器性质造成明显的不良影响.器件激射波长约为1 273.6 nm,脉冲条件下表现出动态单纵模特性,在仪器测试范围内,20μm尺寸的器件常温连续工作条件下的最大输出功率为0.16 mW.但P-I曲线的扭折说明器件仍旧存在着较大的热,电阻,需在后续的材料生长及键合技术中进一步优化
metadata_83纳米光电子实验室
Subject Area光电子学
Funding Organization深圳信息学院青年自然科学基金项目,国家自然科学基金资助项目
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:4027302
Date Available2011-08-16
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/21732
Collection纳米光电子实验室
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GB/T 7714
何国荣,渠红伟,郑婉华,等. 双面键合长波长垂直腔面发射激光器的制备与分析[J]. 红外与激光工程,2010,39(4):618-622.
APA 何国荣,渠红伟,郑婉华,&陈良惠.(2010).双面键合长波长垂直腔面发射激光器的制备与分析.红外与激光工程,39(4),618-622.
MLA 何国荣,et al."双面键合长波长垂直腔面发射激光器的制备与分析".红外与激光工程 39.4(2010):618-622.
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