SEMI OpenIR  > 集成光电子学国家重点实验室
激光直写技术在微电极阵列制作中的应用研究
陈海峰; 曹宇; 李祥友; 蔡志祥; 王小宝; 王少飞; 李金洪; 曾晓雁; 陈弘达
2011
Source Publication高技术通讯
Volume21Issue:2Pages:210-214
Abstract利用激光微细熔覆电子浆料(LMCEP)技术在熔融石英玻璃上初步制作了4×4微电极阵列(MEA)----目前研究细胞电生理的常用工具之一, 在电极阵列背面利用微笔直写技术直接"写"上加温和热敏电阻, 完成了微电极阵列、电热器件和热敏器件的集成制造. 随后对电极阻抗和微加热器性能进行了测试, 并在其上培养神经细胞. 结果表明: 激光直写导线宽度与加工电流、光阑直径、电子浆料、涂层厚度和衬底材料相关; 电极和微加热器性能基本满足使用需求, 但是电子浆料成分对细胞生物活性存在一些影响. 今后将更换电子浆料材料, 提高生物相容性
metadata_83集成光电子学国家重点实验室
Subject Area光电子学
Funding Organization863计划
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:4141362
Date Available2011-08-16
Citation statistics
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/21582
Collection集成光电子学国家重点实验室
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GB/T 7714
陈海峰,曹宇,李祥友,等. 激光直写技术在微电极阵列制作中的应用研究[J]. 高技术通讯,2011,21(2):210-214.
APA 陈海峰.,曹宇.,李祥友.,蔡志祥.,王小宝.,...&陈弘达.(2011).激光直写技术在微电极阵列制作中的应用研究.高技术通讯,21(2),210-214.
MLA 陈海峰,et al."激光直写技术在微电极阵列制作中的应用研究".高技术通讯 21.2(2011):210-214.
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