SEMI OpenIR  > 集成光电子学国家重点实验室
基于SOI结构的1×8阵列上下载微环滤波器
王世君; 黄永箴
2010
Source Publication光电子·激光
Volume21Issue:8Pages:1125-1128
Abstract利用193 nm深紫外曝光的方法应用CMOS技术,在SOI片上加工制作了1×8阵列上下载微环滤波器,微环半径分别为21.0,20.5,20.0和19.5μm.通过测量直通端的透射光谱,在1 540~1 560 nm的波段上观测到微环阵列谐振波长的透射谱凹陷,对应的消光比均大于15dB,在谐振波长1559.5 nm处的消光比高达35 dB.在半径为20.5μm的微环下载端,测得的波长为1 542.6,1 546.7,1 551.0,1 555.2和1 559.3 nm的下载峰,对应的自由谱宽为4.2 nm
metadata_83集成光电子学国家重点实验室
Subject Area光电子学
Funding Organization国家自然科学基金资助项目,国家重点基础研究计划资助项目
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:4026375
Date Available2011-08-16
Citation statistics
Cited Times:4[CSCD]   [CSCD Record]
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/21568
Collection集成光电子学国家重点实验室
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GB/T 7714
王世君,黄永箴. 基于SOI结构的1×8阵列上下载微环滤波器[J]. 光电子·激光,2010,21(8):1125-1128.
APA 王世君,&黄永箴.(2010).基于SOI结构的1×8阵列上下载微环滤波器.光电子·激光,21(8),1125-1128.
MLA 王世君,et al."基于SOI结构的1×8阵列上下载微环滤波器".光电子·激光 21.8(2010):1125-1128.
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