SEMI OpenIR  > 集成光电子学国家重点实验室
硅基混合集成技术的研究进展
李显尧; 袁韬努; 邵士茜; 施祖军; 汪毅; 俞育德; 余金中
2011
Source Publication物理
Volume40Issue:1Pages:28-32
Abstract硅基光电子集成技术(PICs)为高速宽带光互连和光通信的发展提供了一种低成本的有效方案, 受到人们的高度重视.目前将III-V族和锗等半导体化合物集成到硅衬底的方法主要分为两类: 异质结外延生长和异质材料的键合.低温下晶片键合的方法克服了异质结外延生长中的生长温度高、晶格失配和材料热膨胀系数非共容性的缺点, 为大规模的异质(不同半导体材料)集成提供了可能.文章综述了近几年来一些常用的键合方法, 并对低温键合方法的发展动向做了展望
metadata_83集成光电子学国家重点实验室
Subject Area光电子学
Funding Organization国家自然科学基金
Indexed ByCSCD
Language中文
Date Available2011-08-16
Citation statistics
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/21554
Collection集成光电子学国家重点实验室
Recommended Citation
GB/T 7714
李显尧,袁韬努,邵士茜,等. 硅基混合集成技术的研究进展[J]. 物理,2011,40(1):28-32.
APA 李显尧.,袁韬努.,邵士茜.,施祖军.,汪毅.,...&余金中.(2011).硅基混合集成技术的研究进展.物理,40(1),28-32.
MLA 李显尧,et al."硅基混合集成技术的研究进展".物理 40.1(2011):28-32.
Files in This Item:
File Name/Size DocType Version Access License
硅基混合集成技术的研究进展.pdf(1378KB) 限制开放--Application Full Text
Related Services
Recommend this item
Bookmark
Usage statistics
Export to Endnote
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[李显尧]'s Articles
[袁韬努]'s Articles
[邵士茜]'s Articles
Baidu academic
Similar articles in Baidu academic
[李显尧]'s Articles
[袁韬努]'s Articles
[邵士茜]'s Articles
Bing Scholar
Similar articles in Bing Scholar
[李显尧]'s Articles
[袁韬努]'s Articles
[邵士茜]'s Articles
Terms of Use
No data!
Social Bookmark/Share
All comments (0)
No comment.
 

Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.