单行载流子光电探测器中空间电荷屏蔽效应理论分析和实验研究

	单行载流子光电探测器中空间电荷屏蔽效应理论分析和实验研究
	郭剑川; 左玉华; 张云; 张岭梓; 成步文; 王启明
	2010
Source Publication	物理学报
Volume	59 Issue:7 Pages:4524-4529
Abstract	本文优化设计和外延生长了一种单行载流子(UTC)光电探测器有源区结构,并且采用微电子工艺制备了台面尺寸为30μm的UTC光电探测器.同时,采用了漂移-扩散模型对该有源区结构进行了理论模拟,从载流子浓度和空间电场角度重点分析研究了空间电荷屏蔽效应对UTC光电探测器直流饱和特性影响的物理机理.UTC光电探测器理论模拟结果与实测数据基本相符.
metadata_83	集成光电子学国家重点实验室
Subject Area	光电子学
Funding Organization	国家重点基础研究发展计划
Indexed By	CSCD
Language	中文
CSCD ID	CSCD:3892177
Date Available	2011-08-16
Citation statistics	Cited Times:4[CSCD] [CSCD Record]
Document Type	期刊论文
Identifier	http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/21532
Collection	集成光电子学国家重点实验室
Recommended Citation GB/T 7714	郭剑川,左玉华,张云,等. 单行载流子光电探测器中空间电荷屏蔽效应理论分析和实验研究[J]. 物理学报,2010,59(7):4524-4529.
APA	郭剑川,左玉华,张云,张岭梓,成步文,&王启明.(2010).单行载流子光电探测器中空间电荷屏蔽效应理论分析和实验研究.物理学报,59(7),4524-4529.
MLA	郭剑川,et al."单行载流子光电探测器中空间电荷屏蔽效应理论分析和实验研究".物理学报 59.7(2010):4524-4529.

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