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利用能量过滤成像技术对注氮SOI的研究 | |
段晓峰; 都安彦; 褚一鸣 | |
1990 | |
Source Publication | 半导体学报
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Volume | 11Issue:9Pages:688 |
metadata_83 | 中科院北京电子显微镜实验室;中科院半导体所 |
Subject Area | 半导体材料 |
Indexed By | CSCD |
Language | 中文 |
CSCD ID | CSCD:112303 |
Date Available | 2010-11-23 |
Citation statistics | |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20479 |
Collection | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
Recommended Citation GB/T 7714 | 段晓峰,都安彦,褚一鸣. 利用能量过滤成像技术对注氮SOI的研究[J]. 半导体学报,1990,11(9):688. |
APA | 段晓峰,都安彦,&褚一鸣.(1990).利用能量过滤成像技术对注氮SOI的研究.半导体学报,11(9),688. |
MLA | 段晓峰,et al."利用能量过滤成像技术对注氮SOI的研究".半导体学报 11.9(1990):688. |
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