利用能量过滤成像技术对注氮SOI的研究

SEMI OpenIR > 中国科学院半导体研究所（2009年前）

	利用能量过滤成像技术对注氮SOI的研究
	段晓峰; 都安彦; 褚一鸣
	1990
Source Publication	半导体学报
Volume	11 Issue:9 Pages:688
metadata_83	中科院北京电子显微镜实验室;中科院半导体所
Subject Area	半导体材料
Indexed By	CSCD
Language	中文
CSCD ID	CSCD:112303
Date Available	2010-11-23
Citation statistics
Document Type	期刊论文
Identifier	http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20479
Collection	中国科学院半导体研究所（2009年前）
Recommended Citation GB/T 7714	段晓峰,都安彦,褚一鸣. 利用能量过滤成像技术对注氮SOI的研究[J]. 半导体学报,1990,11(9):688.
APA	段晓峰,都安彦,&褚一鸣.(1990).利用能量过滤成像技术对注氮SOI的研究.半导体学报,11(9),688.
MLA	段晓峰,et al."利用能量过滤成像技术对注氮SOI的研究".半导体学报 11.9(1990):688.

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