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半导体材料与器体生产工艺尾气中砷、磷、硫的治理及检测 | |
闻瑞梅; 梁骏吾; 邓礼生; 彭永清 | |
1995 | |
Source Publication | 半导体学报
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Volume | 16Issue:3Pages:188 |
Abstract | 研究了化合物半导体材料、器件生产工艺中排出的有毒物质砷、磷、硫及其化合物的治理方法。还研究了这些有毒物质的低温富集取样及快速、灵敏的分析监测方法,并与其它经典的方法作了对比。 |
metadata_83 | 中科院半导体所 |
Subject Area | 半导体化学 |
Indexed By | CSCD |
Language | 中文 |
CSCD ID | CSCD:262051 |
Date Available | 2010-11-23 |
Citation statistics | |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/19839 |
Collection | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
Recommended Citation GB/T 7714 | 闻瑞梅,梁骏吾,邓礼生,等. 半导体材料与器体生产工艺尾气中砷、磷、硫的治理及检测[J]. 半导体学报,1995,16(3):188. |
APA | 闻瑞梅,梁骏吾,邓礼生,&彭永清.(1995).半导体材料与器体生产工艺尾气中砷、磷、硫的治理及检测.半导体学报,16(3),188. |
MLA | 闻瑞梅,et al."半导体材料与器体生产工艺尾气中砷、磷、硫的治理及检测".半导体学报 16.3(1995):188. |
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