电子束曝光机自动套准系统的研究

SEMI OpenIR > 中国科学院半导体研究所（2009年前）

	电子束曝光机自动套准系统的研究
	王向东; 杜秉初; 葛璜
	1995
Source Publication	电子学报
Volume	23 Issue:8 Pages:92
metadata_83	清华大学电子工程系;中科院半导体所
Subject Area	微电子学
Funding Organization	国家863计划
Indexed By	CSCD
Language	中文
CSCD ID	CSCD:266724
Date Available	2010-11-23
Citation statistics
Document Type	期刊论文
Identifier	http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/19781
Collection	中国科学院半导体研究所（2009年前）
Recommended Citation GB/T 7714	王向东,杜秉初,葛璜. 电子束曝光机自动套准系统的研究[J]. 电子学报,1995,23(8):92.
APA	王向东,杜秉初,&葛璜.(1995).电子束曝光机自动套准系统的研究.电子学报,23(8),92.
MLA	王向东,et al."电子束曝光机自动套准系统的研究".电子学报 23.8(1995):92.

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