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电子束曝光机自动套准系统的研究 | |
王向东; 杜秉初; 葛璜 | |
1995 | |
Source Publication | 电子学报
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Volume | 23Issue:8Pages:92 |
metadata_83 | 清华大学电子工程系;中科院半导体所 |
Subject Area | 微电子学 |
Funding Organization | 国家863计划 |
Indexed By | CSCD |
Language | 中文 |
CSCD ID | CSCD:266724 |
Date Available | 2010-11-23 |
Citation statistics | |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/19781 |
Collection | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
Recommended Citation GB/T 7714 | 王向东,杜秉初,葛璜. 电子束曝光机自动套准系统的研究[J]. 电子学报,1995,23(8):92. |
APA | 王向东,杜秉初,&葛璜.(1995).电子束曝光机自动套准系统的研究.电子学报,23(8),92. |
MLA | 王向东,et al."电子束曝光机自动套准系统的研究".电子学报 23.8(1995):92. |
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