SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
新型结构的1.3μm GexSi(1-x)/Si MQW 波导探测器的优化设计
刘育梁; 杨沁清; 王启明
1996
Source Publication半导体学报
Volume17Issue:9Pages:667
Abstract首次提出了一种新型的环形1.3μm Ge_xSi_(1-x)/Si波导探测器结构.器件的主体由3μm宽环形波导构成.器件的输入端是8μm宽的波导.这两部分通过劈形波导过渡连接.各部分经过优化设计,可以同时实现高的耦合效率和高内量子效率.对于器件的材料结构、电学和光学特性进行了仔细的分析与设计.结果表明,优化设计的器件其外量子效率可达28%,比已经报道的直波导探测器的外量子效率提高2~3倍.而上升下降时间仍然保持在110ps左右.
metadata_83中科院半导体所
Subject Area半导体器件
Funding Organization国家自然科学基金,国家教委基金
Indexed ByCSCD
Language中文
Date Available2010-11-23
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/19643
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
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GB/T 7714
刘育梁,杨沁清,王启明. 新型结构的1.3μm GexSi(1-x)/Si MQW 波导探测器的优化设计[J]. 半导体学报,1996,17(9):667.
APA 刘育梁,杨沁清,&王启明.(1996).新型结构的1.3μm GexSi(1-x)/Si MQW 波导探测器的优化设计.半导体学报,17(9),667.
MLA 刘育梁,et al."新型结构的1.3μm GexSi(1-x)/Si MQW 波导探测器的优化设计".半导体学报 17.9(1996):667.
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