用于GaN生长的蓝宝石衬底化学抛光研究

SEMI OpenIR > 中国科学院半导体研究所（2009年前）

	用于GaN生长的蓝宝石衬底化学抛光研究
	王晓晖; 刘祥林; 汪度; 陆大成
	1997
Source Publication	半导体学报
Volume	18 Issue:11 Pages:867
metadata_83	中科院半导体所
Subject Area	半导体材料
Indexed By	CSCD
Language	中文
CSCD ID	CSCD:358514
Date Available	2010-11-23
Citation statistics
Document Type	期刊论文
Identifier	http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/19499
Collection	中国科学院半导体研究所（2009年前）
Recommended Citation GB/T 7714	王晓晖,刘祥林,汪度,等. 用于GaN生长的蓝宝石衬底化学抛光研究[J]. 半导体学报,1997,18(11):867.
APA	王晓晖,刘祥林,汪度,&陆大成.(1997).用于GaN生长的蓝宝石衬底化学抛光研究.半导体学报,18(11),867.
MLA	王晓晖,et al."用于GaN生长的蓝宝石衬底化学抛光研究".半导体学报 18.11(1997):867.

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