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Ti-AlN快速退火的界面 | |
王佑祥; 陈新; 陶琨 | |
1996 | |
Source Publication | 清华大学学报. 自然科学版
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Volume | 36Issue:增刊Pages:52 |
metadata_83 | 中科院半导体所;清华大学材料科学与工程系 |
Subject Area | 半导体材料 |
Funding Organization | 国家自然科学基金 |
Indexed By | CSCD |
Language | 中文 |
CSCD ID | CSCD:520980 |
Date Available | 2010-11-23 |
Citation statistics | |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/19017 |
Collection | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
Recommended Citation GB/T 7714 | 王佑祥,陈新,陶琨. Ti-AlN快速退火的界面[J]. 清华大学学报. 自然科学版,1996,36(增刊):52. |
APA | 王佑祥,陈新,&陶琨.(1996).Ti-AlN快速退火的界面.清华大学学报. 自然科学版,36(增刊),52. |
MLA | 王佑祥,et al."Ti-AlN快速退火的界面".清华大学学报. 自然科学版 36.增刊(1996):52. |
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