Ti-AlN快速退火的界面

SEMI OpenIR > 中国科学院半导体研究所（2009年前）

	Ti-AlN快速退火的界面
	王佑祥; 陈新; 陶琨
	1996
Source Publication	清华大学学报. 自然科学版
Volume	36 Issue:增刊 Pages:52
metadata_83	中科院半导体所;清华大学材料科学与工程系
Subject Area	半导体材料
Funding Organization	国家自然科学基金
Indexed By	CSCD
Language	中文
CSCD ID	CSCD:520980
Date Available	2010-11-23
Citation statistics
Document Type	期刊论文
Identifier	http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/19017
Collection	中国科学院半导体研究所（2009年前）
Recommended Citation GB/T 7714	王佑祥,陈新,陶琨. Ti-AlN快速退火的界面[J]. 清华大学学报. 自然科学版,1996,36(增刊):52.
APA	王佑祥,陈新,&陶琨.(1996).Ti-AlN快速退火的界面.清华大学学报. 自然科学版,36(增刊),52.
MLA	王佑祥,et al."Ti-AlN快速退火的界面".清华大学学报. 自然科学版 36.增刊(1996):52.

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