SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
SOI集成光电子器件
魏红振; 余金中; 张小峰; 刘忠立; 史伟; 房昌水
2001
Source Publication半导体光电
Volume22Issue:1Pages:7
AbstractSilicon-on-insulator (SOI)集成光电子器件的工艺与标准CMOS工艺完全兼容,采用SOI技术可以实现低成本的整片集成光电子回路。文章回顾了近几年来SOI集成光电子器件的发展以及一些最新的研究进展。
metadata_83中科院半导体所;山东大学人工晶体研究所
Subject Area半导体器件
Funding Organization国家自然科学基金
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:531918
Date Available2010-11-23
Citation statistics
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18979
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
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GB/T 7714
魏红振,余金中,张小峰,等. SOI集成光电子器件[J]. 半导体光电,2001,22(1):7.
APA 魏红振,余金中,张小峰,刘忠立,史伟,&房昌水.(2001).SOI集成光电子器件.半导体光电,22(1),7.
MLA 魏红振,et al."SOI集成光电子器件".半导体光电 22.1(2001):7.
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