纳米硅薄膜的Raman光谱

SEMI OpenIR > 中国科学院半导体研究所（2009年前）

	纳米硅薄膜的Raman光谱
	徐刚毅; 王天民; 李国华; 王金良; 何宇亮; 马智训; 郑国珍
	2000
Source Publication	半导体学报
Volume	21 Issue:12 Pages:1170
Abstract	通过等离子增强化学气相沉积法,制备了本征和掺磷的氢化纳米硅薄膜(nc-Si:H)，研究了晶粒尺寸和掺杂浓度对纳米硅薄膜喇曼谱的影响。结果表明晶粒变小和掺杂浓度增加都使纳晶粒的TO模峰位逐渐偏离声子限制模型的计算值。X射线衍射和高分辨电镜像的结果表明晶粒变小导致硅晶粒应力增加，而掺要使晶粒内部杂质和缺陷增多，这些因素破坏了晶粒变小导致晶粒应力增加，而掺杂使晶粒内部杂质和缺陷增多，这些因素破坏了晶粒内晶格的平移对称性进一步减小声子的平均自由程，导致实验值偏离理论计算值。晶格平称对称性的破缺还体现在，随晶粒尺寸减小或掺杂浓度增加，喇曼谱中TA、L振动模的相对散射强度增加。
metadata_83	兰州大学材料科学系;中科院半导体所;北京航空航天大学材料物理与化学研究中心;中科院上海技术物理所
Subject Area	半导体材料
Funding Organization	国家自然科学基金
Indexed By	CSCD
Language	中文
CSCD ID	CSCD:532856
Date Available	2010-11-23
Citation statistics
Document Type	期刊论文
Identifier	http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18737
Collection	中国科学院半导体研究所（2009年前）
Recommended Citation GB/T 7714	徐刚毅,王天民,李国华,等. 纳米硅薄膜的Raman光谱[J]. 半导体学报,2000,21(12):1170.
APA	徐刚毅.,王天民.,李国华.,王金良.,何宇亮.,...&郑国珍.(2000).纳米硅薄膜的Raman光谱.半导体学报,21(12),1170.
MLA	徐刚毅,et al."纳米硅薄膜的Raman光谱".半导体学报 21.12(2000):1170.

Files in This Item:
File Name/Size	DocType	Version	Access	License
5416.pdf（252KB）			限制开放	--	Application Full Text

If you have any objections to this item, please fill out the form below and the administrator will contact you as soon as possible.
Content:
Email：	*
Institution:
Verification Code:	Refresh

Any comments and suggestions are welcomed.
Title:	*
Content:
Email：	*
Verification Code:	Refresh

中国科学院半导体研究所机构知识库