SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
用新型可交联极化聚合物材料制备的脊波导有机电光调制器(英文)
杨晓红; 杜云; 殷爱民; 石志文; 吴荣汉
2001
Source Publication半导体学报
Volume22Issue:2Pages:130
Abstract制备了一种全部以聚合物为波导材料的电光调制器,其中芯层为新型可交联极化聚胺脂电光功能材料。旋涂制备波导薄膜、电晕极化产生非线性、光刻和氧反应离子刻蚀完成脊波导为主要的工艺步骤。1.3μm光源光纤耦合输入脊波导调制器,得到很好的输出端单模近场图及清晰的低频调制信号。
metadata_83中科院半导体所国家光电子工艺中心
Subject Area光电子学
Funding Organization国家863计划
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:532892
Date Available2010-11-23
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18721
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
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GB/T 7714
杨晓红,杜云,殷爱民,等. 用新型可交联极化聚合物材料制备的脊波导有机电光调制器(英文)[J]. 半导体学报,2001,22(2):130.
APA 杨晓红,杜云,殷爱民,石志文,&吴荣汉.(2001).用新型可交联极化聚合物材料制备的脊波导有机电光调制器(英文).半导体学报,22(2),130.
MLA 杨晓红,et al."用新型可交联极化聚合物材料制备的脊波导有机电光调制器(英文)".半导体学报 22.2(2001):130.
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