SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
用于光电子器件的低成本、高反射率 SOR衬底(英文)
李成; 杨沁青; 王红杰; 王启明
2001
Source Publication半导体学报
Volume22Issue:3Pages:261
Abstract报道了一种包含一薄层单晶硅和隐埋Si/SiO_2布拉格反射器的SOR衬底。这种可用于光电子器件的衬底是由硅基乳胶粘接和智能剥离技术研制而成的。在垂直光照条件下,这种SOR衬底在1.3μm处的反射率接近100%。
metadata_83中科院半导体所
Subject Area光电子学
Funding Organization国家自然科学基金,国家973计划
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:532917
Date Available2010-11-23
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18713
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
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GB/T 7714
李成,杨沁青,王红杰,等. 用于光电子器件的低成本、高反射率 SOR衬底(英文)[J]. 半导体学报,2001,22(3):261.
APA 李成,杨沁青,王红杰,&王启明.(2001).用于光电子器件的低成本、高反射率 SOR衬底(英文).半导体学报,22(3),261.
MLA 李成,et al."用于光电子器件的低成本、高反射率 SOR衬底(英文)".半导体学报 22.3(2001):261.
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