一种微机械光开关的分析和设计（英文）

SEMI OpenIR > 中国科学院半导体研究所（2009年前）

	一种微机械光开关的分析和设计（英文）
	贾玉斌; 陈良惠; 李玉璋
	2001
Source Publication	半导体学报
Volume	22 Issue:7 Pages:837
Abstract	对悬臂梁微机械光开关的机电特性进行了理论分析。利用机械和电学特性，导出了悬臂梁的弯曲量和所加的电压的解析关系，并给出阈值电压的计算公式。指出外加电压与梁的宽度无关，与梁的长度的平方成反比。悬臂梁尖端的弯曲量不能超出相邻电极间距的1/3。这些结论是悬臂梁微机械光开关设计和研制的直接依据。
metadata_83	中科院半导体所
Subject Area	光电子学
Indexed By	CSCD
Language	中文
CSCD ID	CSCD:533032
Date Available	2010-11-23
Citation statistics
Document Type	期刊论文
Identifier	http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18663
Collection	中国科学院半导体研究所（2009年前）
Recommended Citation GB/T 7714	贾玉斌,陈良惠,李玉璋. 一种微机械光开关的分析和设计（英文）[J]. 半导体学报,2001,22(7):837.
APA	贾玉斌,陈良惠,&李玉璋.(2001).一种微机械光开关的分析和设计（英文）.半导体学报,22(7),837.
MLA	贾玉斌,et al."一种微机械光开关的分析和设计（英文）".半导体学报 22.7(2001):837.

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