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一种微机械光开关的分析和设计(英文) | |
贾玉斌; 陈良惠![]() | |
2001 | |
Source Publication | 半导体学报
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Volume | 22Issue:7Pages:837 |
Abstract | 对悬臂梁微机械光开关的机电特性进行了理论分析。利用机械和电学特性,导出了悬臂梁的弯曲量和所加的电压的解析关系,并给出阈值电压的计算公式。指出外加电压与梁的宽度无关,与梁的长度的平方成反比。悬臂梁尖端的弯曲量不能超出相邻电极间距的1/3。这些结论是悬臂梁微机械光开关设计和研制的直接依据。 |
metadata_83 | 中科院半导体所 |
Subject Area | 光电子学 |
Indexed By | CSCD |
Language | 中文 |
CSCD ID | CSCD:533032 |
Date Available | 2010-11-23 |
Citation statistics | |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18663 |
Collection | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
Recommended Citation GB/T 7714 | 贾玉斌,陈良惠,李玉璋. 一种微机械光开关的分析和设计(英文)[J]. 半导体学报,2001,22(7):837. |
APA | 贾玉斌,陈良惠,&李玉璋.(2001).一种微机械光开关的分析和设计(英文).半导体学报,22(7),837. |
MLA | 贾玉斌,et al."一种微机械光开关的分析和设计(英文)".半导体学报 22.7(2001):837. |
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