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CMOS集成电路用Φ150-200mm外延硅材料 | |
王启元; 林兰英; 何自强; 龚义元; 蔡田海; 郁元桓; 何龙珠; 高秀峰; 王建华; 邓惠芳 | |
2001 | |
Source Publication | 半导体学报
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Volume | 22Issue:12Pages:1538 |
Abstract | 报道了Φ150mm CMOS硅外延材料的研究开发及集成电路应用成果,对Φ200mmP/P~-硅外延材料进行了初步探索研究。Φ150mm P/P~+硅外延片实现了批量生产,并成功应用于集成电路生产线,芯片成品率大于80%。硅外延片的参数指标能满足集成电路制造要求。 |
metadata_83 | 中科院半导体所;中科院微电子中心 |
Subject Area | 半导体材料 |
Funding Organization | 国家科技攻关项目 |
Indexed By | CSCD |
Language | 中文 |
Date Available | 2010-11-23 |
Citation statistics | |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18611 |
Collection | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
Recommended Citation GB/T 7714 | 王启元,林兰英,何自强,等. CMOS集成电路用Φ150-200mm外延硅材料[J]. 半导体学报,2001,22(12):1538. |
APA | 王启元.,林兰英.,何自强.,龚义元.,蔡田海.,...&邓惠芳.(2001).CMOS集成电路用Φ150-200mm外延硅材料.半导体学报,22(12),1538. |
MLA | 王启元,et al."CMOS集成电路用Φ150-200mm外延硅材料".半导体学报 22.12(2001):1538. |
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