Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
| 电子级多晶硅的生产工艺 | |
| 梁骏吾 | |
| 2000 | |
| Source Publication | 中国工程科学
 |
| Volume | 2Issue:12Pages:34 |
| metadata_83 | 中科院半导体所 |
| Subject Area | 半导体材料 |
| Indexed By | CSCD |
| Language | 中文 |
| CSCD ID | CSCD:594273 |
| Date Available | 2010-11-23 |
| Citation statistics | |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18511 |
| Collection | 中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 梁骏吾. 电子级多晶硅的生产工艺[J]. 中国工程科学,2000,2(12):34. |
| APA | 梁骏吾.(2000).电子级多晶硅的生产工艺.中国工程科学,2(12),34. |
| MLA | 梁骏吾."电子级多晶硅的生产工艺".中国工程科学 2.12(2000):34. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 5303.pdf（270KB） | 限制开放 | -- | Application Full Text | |||
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