SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
一种新型的超导磁场单晶炉的研制
吴金良; 钟兴儒; 陈诺夫; 田金法; 林兰英
2000
Source Publication功能材料与器件学报
Volume6Issue:4Pages:453
Abstract磁场对于半导体晶体生长过程中的熔体流动模式有着明显的影响,因而可以改善晶体的组分和杂质的分布。在半导体单晶生长过程当中利用超导磁场来抑制熔体的对流,采用这种方式既可以生长出优质的单晶又可以研究熔体的对流与扩散对生长半导体单晶的质量影响。报道了新近自行设计、制造的一种新型超导磁场直拉单晶炉。
metadata_83中科院半导体所
Subject Area半导体材料
Funding Organization科技部资助
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:608080
Date Available2010-11-23
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18419
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
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GB/T 7714
吴金良,钟兴儒,陈诺夫,等. 一种新型的超导磁场单晶炉的研制[J]. 功能材料与器件学报,2000,6(4):453.
APA 吴金良,钟兴儒,陈诺夫,田金法,&林兰英.(2000).一种新型的超导磁场单晶炉的研制.功能材料与器件学报,6(4),453.
MLA 吴金良,et al."一种新型的超导磁场单晶炉的研制".功能材料与器件学报 6.4(2000):453.
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