基于神经网络的集成电路生产过程建模与优化

SEMI OpenIR > 中国科学院半导体研究所（2009年前）

	基于神经网络的集成电路生产过程建模与优化
	王向东; 陈咏梅; 王守觉; 石林初
	2001
Source Publication	自动化学报
Volume	27 Issue:3 Pages:289
metadata_83	中科院半导体所;华晶电子集团公司双极设计所
Subject Area	人工智能
Indexed By	CSCD
Language	中文
CSCD ID	CSCD:708450
Date Available	2010-11-23
Citation statistics
Document Type	期刊论文
Identifier	http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18287
Collection	中国科学院半导体研究所（2009年前）
Recommended Citation GB/T 7714	王向东,陈咏梅,王守觉,等. 基于神经网络的集成电路生产过程建模与优化[J]. 自动化学报,2001,27(3):289.
APA	王向东,陈咏梅,王守觉,&石林初.(2001).基于神经网络的集成电路生产过程建模与优化.自动化学报,27(3),289.
MLA	王向东,et al."基于神经网络的集成电路生产过程建模与优化".自动化学报 27.3(2001):289.

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