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| 与CMOS工艺兼容的硅高速光电探测器模拟与设计 | |
| 毛陆虹; 陈弘达; 吴荣汉; 唐君; 梁琨; 粘华; 郭维廉; 李树荣; 吴霞宛 | |
| 2002 | |
| Source Publication | 半导体学报
 |
| Volume | 23Issue:2Pages:193-197 |
| Abstract | 用器件模拟的方法，设计了一种与常规CMOS工艺兼容的硅高速光电探测器，该探测器可与CMOS接收机电路单片集成，对该探测器进行了器件模拟研究，给出了该探测器的电路模型。通过MOSIS（MOS implementation support project）0.35 μm COMS工艺制做了该探测器，实际测试了该器件的频率响应和波长响应，探测器频率响应在1GH以上，峰值波长响应在0.69 μm。 |
| metadata_83 | 中国科学院半导体研究所;天津大学电子与信息工程学院 |
| Subject Area | 光电子学 |
| Funding Organization | 国家自然科学基金资助项目（批准号 |
| Indexed By | CSCD |
| Language | 中文 |
| CSCD ID | CSCD:955371 |
| Date Available | 2010-11-23 |
| Citation statistics | |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18111 |
| Collection | 中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 毛陆虹,陈弘达,吴荣汉,等. 与CMOS工艺兼容的硅高速光电探测器模拟与设计[J]. 半导体学报,2002,23(2):193-197. |
| APA | 毛陆虹.,陈弘达.,吴荣汉.,唐君.,梁琨.,...&吴霞宛.(2002).与CMOS工艺兼容的硅高速光电探测器模拟与设计.半导体学报,23(2),193-197. |
| MLA | 毛陆虹,et al."与CMOS工艺兼容的硅高速光电探测器模拟与设计".半导体学报 23.2(2002):193-197. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 5102.pdf（334KB） | 限制开放 | -- | Application Full Text | |||
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