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横向外延GaN结晶质量的同步辐射研究 | |
冯淦; 郑新和; 王玉田![]() | |
2002 | |
Source Publication | 核技术
![]() |
Volume | 25Issue:10Pages:770-774 |
Abstract | 采用同步辐射X光衍射技术研究了α-Al_2O_3(0001)衬底上横向外延GaN的结构特征。发现横向生长区的GaN(0001)晶面与窗口区的GaN(0001)晶面在垂直掩模方向上存在取向差。ω/2θ联动扫描发现横向生长区的GaN的衍射峰半高宽约为窗口区GaN的一半,这表明横向外延生长技术在降低GaN穿透位错密度的同时,还能大幅度提高GaN的晶粒尺寸。 |
metadata_83 | 中国科学院半导体研究所;中科院高能物理所 |
Subject Area | 光电子学 |
Indexed By | CSCD |
Language | 中文 |
CSCD ID | CSCD:1002326 |
Date Available | 2010-11-23 |
Citation statistics | |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17999 |
Collection | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
Recommended Citation GB/T 7714 | 冯淦,郑新和,王玉田,等. 横向外延GaN结晶质量的同步辐射研究[J]. 核技术,2002,25(10):770-774. |
APA | 冯淦.,郑新和.,王玉田.,杨辉.,梁骏吾.,...&贾全杰.(2002).横向外延GaN结晶质量的同步辐射研究.核技术,25(10),770-774. |
MLA | 冯淦,et al."横向外延GaN结晶质量的同步辐射研究".核技术 25.10(2002):770-774. |
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