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| 镜面起伏对1.55 μm Si基MEMS光滤波器的影响 | |
左玉华 ; 毛容伟; 黄昌俊; 蔡晓; 李传波; 成步文; 罗丽萍; 高俊华; 白云霞; 姜磊; 马朝华; 王良臣; 余金中; 王启明
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| 2003 | |
| Source Publication | 光子学报
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| Volume | 32Issue:6Pages:661-664 |
| Abstract | 用传输矩阵方法，在简化的光学模型基础上，分别讨论了分布式Bragg反射镜DBR（Distributed Bragg Reflector）的生长精度及镜面起伏对1.55 μm Si基MEMS（Micro-Electro-Mechanical-System）可调谐光滤波器透射谱的影响。计算表明 |
| metadata_83 | 中国科学院半导体研究所;中科院半导体所 |
| Subject Area | 光电子学 |
| Funding Organization | 国家重点基础研究发展规划（973项目）G2 366 3,自然科学基金重大课题（No. 961 4 3）,863项目2 2AA312 1 |
| Indexed By | CSCD |
| Language | 中文 |
| CSCD ID | CSCD:1037467 |
| Date Available | 2010-11-23 |
| Citation statistics |
Cited Times:8[CSCD]
[CSCD Record]
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| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17953 |
| Collection | 中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 左玉华,毛容伟,黄昌俊,等. 镜面起伏对1.55 μm Si基MEMS光滤波器的影响[J]. 光子学报,2003,32(6):661-664. |
| APA | 左玉华.,毛容伟.,黄昌俊.,蔡晓.,李传波.,...&王启明.(2003).镜面起伏对1.55 μm Si基MEMS光滤波器的影响.光子学报,32(6),661-664. |
| MLA | 左玉华,et al."镜面起伏对1.55 μm Si基MEMS光滤波器的影响".光子学报 32.6(2003):661-664. |
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