SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
降低超大规模集成电路用高纯水中总有机碳的能量传递光化学模型
闻瑞梅; 梁骏吾
2003
Source Publication电子学报
Volume31Issue:11Pages:1601-1604
Abstract本文提出用185nm紫外线降低高压纯水中总有机碳(TOC)的能量传递光化学模型。计算了水的流量、TOC的浓度、照射腔的尺寸与所需紫外光能量的关系,从而解决了在工程设计中185nm紫外灯的选择和计算方法。根据理论计算出的结果和实验十分一致,主宰了本模型的正确性。使高纯水中的TOC由4200μg/l降至0.3μg/l,是目前国内外高纯水中TOC浓度的最好水平。
metadata_83同济大学;中科院半导体所
Subject Area半导体化学
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:1164067
Date Available2010-11-23
Citation statistics
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17873
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
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GB/T 7714
闻瑞梅,梁骏吾. 降低超大规模集成电路用高纯水中总有机碳的能量传递光化学模型[J]. 电子学报,2003,31(11):1601-1604.
APA 闻瑞梅,&梁骏吾.(2003).降低超大规模集成电路用高纯水中总有机碳的能量传递光化学模型.电子学报,31(11),1601-1604.
MLA 闻瑞梅,et al."降低超大规模集成电路用高纯水中总有机碳的能量传递光化学模型".电子学报 31.11(2003):1601-1604.
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