支撑光网络发展的硅基光电子技术研究

SEMI OpenIR > 中国科学院半导体研究所（2009年前）

	支撑光网络发展的硅基光电子技术研究
	余金中
	2003
Source Publication	物理
Volume	32 Issue:12 Pages:810-815
Abstract	作为大规模集成电路和化合物半导体光电子器件的制造技术共同构成的一门高新技术，硅基光电子技术越来越受到重视。文章着重介绍中国科学院半导体研究所外延生长SiGe/Si量子结构和Si基器件研究的结果
metadata_83	中国科学院半导体研究所
Subject Area	光电子学
Funding Organization	国家自然科学基金（批准号：6989626 ，6999 54 ）,国家重点基础研究发展计划（批准号：G2 - 3-66）,国家高技术研究发展计划（批准号：2 2AA312 6 ）
Indexed By	CSCD
Language	中文
CSCD ID	CSCD:1205889
Date Available	2010-11-23
Citation statistics
Document Type	期刊论文
Identifier	http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17833
Collection	中国科学院半导体研究所（2009年前）
Recommended Citation GB/T 7714	余金中. 支撑光网络发展的硅基光电子技术研究[J]. 物理,2003,32(12):810-815.
APA	余金中.(2003).支撑光网络发展的硅基光电子技术研究.物理,32(12),810-815.
MLA	余金中."支撑光网络发展的硅基光电子技术研究".物理 32.12(2003):810-815.

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