SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
电容式微传声器的性能模拟与优化设计
宁瑾; 刘忠立
2003
Source Publication半导体学报
Volume24Issue:8Pages:877-881
Abstract针对所研制的电容式微传声器在理想模式下的工作原理,建立了有限元分析模型和声-电模型,从理论上分析了器件的机械性能、灵敏度以及频响特性,得出了结构优化的设计原则,即要想得到高灵敏度的微传声器器件,必须考虑采用尽可能小的空气隙厚度和声学孔尺寸以及具有较小内应力的声学振模。为采用MEMS技术制备出高性能的电容式微传声器提供了理论基础。
metadata_83中国科学院半导体研究所微电子中心
Subject Area半导体器件
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:1208627
Date Available2010-11-23
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17811
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
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GB/T 7714
宁瑾,刘忠立. 电容式微传声器的性能模拟与优化设计[J]. 半导体学报,2003,24(8):877-881.
APA 宁瑾,&刘忠立.(2003).电容式微传声器的性能模拟与优化设计.半导体学报,24(8),877-881.
MLA 宁瑾,et al."电容式微传声器的性能模拟与优化设计".半导体学报 24.8(2003):877-881.
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