热光Si共振腔型可调谐滤波器

SEMI OpenIR > 中国科学院半导体研究所（2009年前）

	热光Si共振腔型可调谐滤波器
	黄昌俊; 左玉华; 成步文; 毛容伟; 李传波; 余金中; 王启明
	2003
Source Publication	半导体学报
Volume	24 Issue:12 Pages:1312-1317
Abstract	报道了利用Si基键合技术和化学机械抛光工艺制作的垂直结构的Fabry-Perot可调谐滤波器，调谐机理为pn结正向注入电流引起的热光效应。调谐范围可达23nm，响应时间约为300 μs，并给出了获得更快响应和更低能耗的热光和电注入可调谐滤波器件结构改进方案。
metadata_83	中国科学院半导体研究所
Subject Area	光电子学
Funding Organization	国家重点基础研究发展规划（973项目）（No. G2 366 3）,国家自然科学基金（批准号
Indexed By	CSCD
Language	中文
CSCD ID	CSCD:1241256
Date Available	2010-11-23
Citation statistics
Document Type	期刊论文
Identifier	http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17749
Collection	中国科学院半导体研究所（2009年前）
Recommended Citation GB/T 7714	黄昌俊,左玉华,成步文,等. 热光Si共振腔型可调谐滤波器[J]. 半导体学报,2003,24(12):1312-1317.
APA	黄昌俊.,左玉华.,成步文.,毛容伟.,李传波.,...&王启明.(2003).热光Si共振腔型可调谐滤波器.半导体学报,24(12),1312-1317.
MLA	黄昌俊,et al."热光Si共振腔型可调谐滤波器".半导体学报 24.12(2003):1312-1317.

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