SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
射频等离子体发射光谱分析在分子束外延GaN生长中的应用
杨冰; 蒲以康; 孙殿照
2002
Source Publication真空科学与技术学报
Volume22Issue:2Pages:153-156
Abstract研究了射频等离子体辅助分子束外延生长GaN晶膜中氮等离子体的发射光谱。用非接触式测量方法-光谱法测定了等离子体特性。讨论了分子束外延生长系统参数的变化与等离子体发光光谱变化之间的联系,薄膜生长与等离子体内活性粒子之间的关系。
metadata_83清华大学电机系;中国科学院半导体研究所
Subject Area半导体材料
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:1273384
Date Available2010-11-23
Citation statistics
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17739
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
Recommended Citation
GB/T 7714
杨冰,蒲以康,孙殿照. 射频等离子体发射光谱分析在分子束外延GaN生长中的应用[J]. 真空科学与技术学报,2002,22(2):153-156.
APA 杨冰,蒲以康,&孙殿照.(2002).射频等离子体发射光谱分析在分子束外延GaN生长中的应用.真空科学与技术学报,22(2),153-156.
MLA 杨冰,et al."射频等离子体发射光谱分析在分子束外延GaN生长中的应用".真空科学与技术学报 22.2(2002):153-156.
Files in This Item:
File Name/Size DocType Version Access License
4903.pdf(192KB) 限制开放--Application Full Text
Related Services
Recommend this item
Bookmark
Usage statistics
Export to Endnote
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[杨冰]'s Articles
[蒲以康]'s Articles
[孙殿照]'s Articles
Baidu academic
Similar articles in Baidu academic
[杨冰]'s Articles
[蒲以康]'s Articles
[孙殿照]'s Articles
Bing Scholar
Similar articles in Bing Scholar
[杨冰]'s Articles
[蒲以康]'s Articles
[孙殿照]'s Articles
Terms of Use
No data!
Social Bookmark/Share
All comments (0)
No comment.
 

Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.