氦离子注入形成980nm脊型波导激光器腔面非注入区的研究

SEMI OpenIR > 中国科学院半导体研究所（2009年前）

	氦离子注入形成980nm脊型波导激光器腔面非注入区的研究
	刘斌; 张敬明; 马骁宇; 肖建伟
	2003
Source Publication	半导体学报
Volume	24 Issue:3 Pages:234-237
Abstract	报道了氦离子注入技术在提高980nm半导体激光器灾变性光学损伤（catastrophic optical damage，COD）阈值上的应用.p-GaAs材料经氦离子注入后可以获得的电阻率。在距离腔面25μm的区域内进行氦离子注入，由此形成腔面附近的电流非注入区。腔面附近非注入区减少了腔面载流子的注入，因此减少了非辐射复合的发生，提高了激光器的灾变性光学损伤阈值。应用氦离子注入形成腔面非注入区的管芯的平均最大功率达到440.5mW，没有发生COD现象。而应用常规工艺制作的管芯的平均COD阈值功率为407.5mW。同常规工艺相比，应用氦离子注入形成腔面非注入区技术使管芯的最大输出功率提高了8％。
metadata_83	中科院半导体所
Subject Area	半导体器件
Indexed By	CSCD
Language	中文
CSCD ID	CSCD:1295208
Date Available	2010-11-23
Citation statistics
Document Type	期刊论文
Identifier	http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17709
Collection	中国科学院半导体研究所（2009年前）
Recommended Citation GB/T 7714	刘斌,张敬明,马骁宇,等. 氦离子注入形成980nm脊型波导激光器腔面非注入区的研究[J]. 半导体学报,2003,24(3):234-237.
APA	刘斌,张敬明,马骁宇,&肖建伟.(2003).氦离子注入形成980nm脊型波导激光器腔面非注入区的研究.半导体学报,24(3),234-237.
MLA	刘斌,et al."氦离子注入形成980nm脊型波导激光器腔面非注入区的研究".半导体学报 24.3(2003):234-237.

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