SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
SOI光电子集成
余金中; 严清峰; 夏金松; 王小龙; 王启明
2003
Source Publication功能材料与器件学报
Volume9Issue:1Pages:1-7
AbstractSOI(Silicon-on-Insulator)光电子集成已成为十分引人注目的研究课题,其工艺与CMOS工艺完全兼容,可以实现低成本的SOI基整片集成光电子回路。本文综述了近几年来SOI集成光电子器件的发展以及一些最新的研究进展,着重分析几种最新型光无源器件的工作原理和结构,包括SOI光波导、SOI光波导耦合器、SOI光波导开关、相位阵列波导光栅(PAWG)、基于SOI的光探测器等,并介绍了中国科学院半导体所集成光电子国家重点实验室的研究进展。
metadata_83中国科学院半导体所
Subject Area光电子学
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:1353554
Date Available2010-11-23
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17637
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
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GB/T 7714
余金中,严清峰,夏金松,等. SOI光电子集成[J]. 功能材料与器件学报,2003,9(1):1-7.
APA 余金中,严清峰,夏金松,王小龙,&王启明.(2003).SOI光电子集成.功能材料与器件学报,9(1),1-7.
MLA 余金中,et al."SOI光电子集成".功能材料与器件学报 9.1(2003):1-7.
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