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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: 低能离子束方法制备磁性Fe-Si合金薄膜
作者: 刘力锋;  陈诺夫;  张富强;  陈晨龙;  李艳丽;  杨少延;  刘志凯
发表日期: 2004
摘要: 利用质量分离的低能离子束技术,获得了磁性Fe-Si合金薄膜.利用俄歇电子能谱法(AES)、X射线衍射法(XRD)以及交变梯度样品磁强计(AGM)测试了样品的组分、结构以及磁特性.测试结果表明在室温下制备的Fe-Si合金是Fe组分渐变的非晶薄膜,具有室温铁磁性.当衬底温度为300℃时制备的非晶Fe-Si薄膜中有Fe硅化物FeSi相产生,样品的铁磁性被抑制.
刊名: 功能材料
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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刘力锋;陈诺夫;张富强;陈晨龙;李艳丽;杨少延;刘志凯.低能离子束方法制备磁性Fe-Si合金薄膜,功能材料,2004,35(4):429-431
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