SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
SOI光波导器件和集成光开关矩阵的研究进展
余金中; 陈少武; 夏金松; 王章涛; 樊中朝; 李艳萍; 刘敬伟; 杨笛; 陈媛媛
2004
Source Publication中国科学. E辑, 技术科学
Volume34Issue:0Pages:10
AbstractSOI(Silicon-on-insulator, 绝缘衬底上的硅)是一种折射率差大、波导传输损耗小的新型材料, SOI基光电子器件具有与微电子工艺兼容、能够实现OEIC单片集成等优点, 近年来受到越来越多的重视. 文中重点研究了SOI波导器件的新进展, 采用高效数值模拟方法研究得出了精确的SOI矩形和梯形大截面脊形波导的单模条件, 设计和制作了单模脊形光波导、多模干涉耦合器(MMI)、可变光衰减器(VOA)、马赫-曾德尔干涉型2×2热光波导光开关, 在此基础上首次研制出4×4和8(8 SOI平面集成波导光开关矩阵.
metadata_83中国科学院半导体研究所
Subject Area光电子学
Funding Organization国家"九七三"计划,"八六三"计划,国家自然科学重大基金,国家自然科学重点基金资助项目
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:1857127
Date Available2010-11-23
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17223
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
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GB/T 7714
余金中,陈少武,夏金松,等. SOI光波导器件和集成光开关矩阵的研究进展[J]. 中国科学. E辑, 技术科学,2004,34(0):10.
APA 余金中.,陈少武.,夏金松.,王章涛.,樊中朝.,...&陈媛媛.(2004).SOI光波导器件和集成光开关矩阵的研究进展.中国科学. E辑, 技术科学,34(0),10.
MLA 余金中,et al."SOI光波导器件和集成光开关矩阵的研究进展".中国科学. E辑, 技术科学 34.0(2004):10.
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