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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: SOI光波导器件和集成光开关矩阵的研究进展
作者: 余金中;  陈少武;  夏金松;  王章涛;  樊中朝;  李艳萍;  刘敬伟;  杨笛;  陈媛媛
发表日期: 2004
摘要: SOI(Silicon-on-insulator, 绝缘衬底上的硅)是一种折射率差大、波导传输损耗小的新型材料, SOI基光电子器件具有与微电子工艺兼容、能够实现OEIC单片集成等优点, 近年来受到越来越多的重视. 文中重点研究了SOI波导器件的新进展, 采用高效数值模拟方法研究得出了精确的SOI矩形和梯形大截面脊形波导的单模条件, 设计和制作了单模脊形光波导、多模干涉耦合器(MMI)、可变光衰减器(VOA)、马赫-曾德尔干涉型2×2热光波导光开关, 在此基础上首次研制出4×4和8(8 SOI平面集成波导光开关矩阵.
刊名: 中国科学. E辑, 技术科学
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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余金中;陈少武;夏金松;王章涛;樊中朝;李艳萍;刘敬伟;杨笛;陈媛媛.SOI光波导器件和集成光开关矩阵的研究进展,中国科学. E辑, 技术科学,2004,34(0):10
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