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| 高温退火处理的磷化铟中的深能级缺陷 | |
| 董志远; 赵有文; 曾一平; 段满龙; 李晋闽 | |
| 2004 | |
| Source Publication | 中国科学. E辑， 技术科学
 |
| Volume | 34Issue:0Pages:5 |
| Abstract | 用深能级瞬态谱(DLTS)研究了高温退火处理后磷化铟中的深能级缺陷.在退火前以及纯磷和磷化铁气氛下,退火后低阻磷化铟中的深能级缺陷的数量和浓度明显不同,磷化铁气氛下退火后的磷化铟中只有0.24和0.64 eV两个缺陷,而纯磷气氛下退火后的磷化铟中可测到0.24,0.42,0.54和0.64 eV4个缺陷,退火前的原生磷化铟样品中有的只有0.49和0.64 eV两个缺陷,有的只有0.13 eV一个缺陷.根据这些结果,讨论了退火气氛对缺陷的产生和抑制作用的物理机理. |
| metadata_83 | 中国科学院半导体研究所材料科学中心 |
| Subject Area | 半导体材料 |
| Funding Organization | 国家自然科学基金资助项目 |
| Indexed By | CSCD |
| Language | 中文 |
| CSCD ID | CSCD:1857141 |
| Date Available | 2010-11-23 |
| Citation statistics | |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17221 |
| Collection | 中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 董志远,赵有文,曾一平,等. 高温退火处理的磷化铟中的深能级缺陷[J]. 中国科学. E辑， 技术科学,2004,34(0):5. |
| APA | 董志远,赵有文,曾一平,段满龙,&李晋闽.(2004).高温退火处理的磷化铟中的深能级缺陷.中国科学. E辑， 技术科学,34(0),5. |
| MLA | 董志远,et al."高温退火处理的磷化铟中的深能级缺陷".中国科学. E辑， 技术科学 34.0(2004):5. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
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